【第166章 第一次曝光】
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藍白色的電弧在膠皮電線斷口處炸開。
刺眼的強光瞬間照亮了牆皮上的黃斑。
王德貴手裡的鐵皮工具箱死死砸在漏水的銅管接頭上。高壓水柱被強行壓住,從箱子底部的縫隙裡橫向呲出來,連帶著鐵鏽和泥沙,劈頭蓋臉澆透了趙小胖的半邊身子。
“拉總閘!”林辰吼道。
他右手死死拽著那截還在冒煙的電線,半個身子擋在光學平台前麵。
趙小胖手裡的搪瓷桶直接飛了出去,他連滾帶爬撲到牆邊,一巴掌拍在黑膠木電閘的手柄上。
“哢噠。”
震耳欲聾的電流過載聲戛然而止。
實驗室陷入一片死寂。
隻有水滴砸在水泥地上的嘀嗒聲,還有空氣裡迅速彌漫開來的膠皮燒焦的刺鼻臭味。
黑暗中,顧工的呼吸像拉風箱一樣粗重。
“燈......燈罩裂了嗎?”顧工的聲音劈了,乾啞得像是在砂紙上磨過。
林辰從褲兜裡摸出半盒受潮的火柴。
“嚓。”
火柴頭在紅磷上劃了三下才亮起。昏黃的光暈推開黑暗。
顧工連眼鏡都顧不上戴,雙手扒著光學平台的邊緣往前湊。
那盞全村希望的進口高壓紫外汞燈,安安穩穩地固定在鏡架上。石英玻璃外殼乾乾淨淨,沒有沾上一滴水。電源盒被林辰拽偏了半尺,水全潑在了旁邊的廢鐵塊上。
顧工雙腿一軟,直接跌坐在滿是泥水的地上。
王德貴把壓在水管上的工具箱拿開。銅管接頭裂開了一道兩寸長的口子。
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“這破管子壁太薄了。”王德貴抹了一把臉上的泥水,在工裝褲上蹭了蹭手。“冷水一激,銅皮直接炸了。”
他提起箱子。
“我現在去老車間。找塊實心黃銅,掏一個厚壁的三通接頭出來。給我半個鐘頭。”
王德貴頭也沒回地紮進走廊的夜色裡。
林辰甩了甩右手。食指指腹被電線外皮燙出了一個白色的水泡,他隨手在衣服下擺蹭破了它,黃水滲進粗布裡。
“趙小胖,拿拖把清理地麵。”林辰把燒剩的火柴梗扔在地上踩滅。“去二樓把安娜叫下來。讓她帶上塗好光刻膠的矽片。還有顯影液。”
趙小胖打了個哆嗦,衣服貼在背上涼透了。
“師傅,現在就試?”
“底座調平了,光路穩了。”林辰盯著黑暗中的光學台。“設備不等人。去。”
半小時後。
王德貴帶著還燙手的黃銅接頭跑回來。重新接好水冷管,閥門打開,水流順暢地通過散熱底座,滴水不漏。
電閘重新推上。
實驗室的窗戶被幾層厚重的黑紅布死死蒙住。屋頂的白熾燈被關掉,角落裡隻亮著一盞瓦數極低的紅燈泡。
這是光刻操作必須的暗室環境。紫外光刻膠對紅光不敏感。
安娜站在平台側麵。她手裡端著一個蓋著黑布的托盤。
托盤裡放著三片切好的單晶矽片。矽片表麵已經用手工流延法塗上了一層薄薄的感光樹脂。
顧工戴著手套,把那塊刻著兩微米線條的石英掩膜版小心翼翼地卡進鏡架下方的對準槽裡。
所有人都不說話。
隻有水冷管裡的水流聲在屋裡回蕩。
林辰拿起鑷子。
他夾起第一片矽片,平放在掩膜版下方的承載台上。
顯微鏡的目鏡被拉了過來。
林辰單眼湊在目鏡上,左手搭在承載台的X軸微調旋鈕上,右手搭在Y軸微調旋鈕上。
紅光下,矽片表麵反射著暗啞的光澤。
“偏了零點五毫米。”林辰嘴裡報著數據。
手指撚動旋鈕。金屬齒輪咬合發出細微的哢哢聲。
“對準。”
林辰退後半步。
顧工湊過去看了一眼顯微鏡,點了點頭。
“曝光時間多少?”顧工轉頭看向安娜。
“按照膠的厚度,還有這台汞燈現在的光強......”安娜借著紅光看了一眼手裡的記錄本。“七十五秒。”
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