054.十四納米芯片取得初步進展,瑤光2代正式立項研發

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“另外,日本那邊的氣體供應商我已經聯係了,他們說可以加急發貨,但價格要加三成。”

許凱聞言思索了一會兒,隨後笑著回應道。

“加就加,隻要不耽誤研發,錢不是問題。”

散會後,許凱再次把方勁單獨留了下來。

“方工,你跟我說實話,這個刻蝕問題,兩周內解決的把握有多大?”

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麵對許凱拋出的問題,方勁猶豫了一下後回答道。

“許總,刻蝕是14nm工藝裡最難的一環。”

“鰭片的側壁角度、粗糙度、高度均勻性,直接決定器件性能。”

“我有七成把握兩周內解決,但如果需要更換刻蝕氣體,可能得三周。”

聽到方勁的回答,許凱笑著擺了擺手,打斷了他。

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