【第154章 張子維急吐血，光刻機研發卡在極紫外光源】
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京州新城。第一製造基地。地下五十米。
這裡是漢海重工最隱秘的半導體實驗室。
恒溫恒濕的無塵係統“嗡嗡”響著。空氣裡飄著股淡淡的臭氧和焊錫味。
無塵服厚重又不透氣，悶得人喘氣都費勁。
張子維趴在防震光學平台上，眼睛死死盯著電子顯微鏡。
他今年才四十五，頭發卻白了一半。亂糟糟的像頂了個鳥窩。白色的防靜電服領口，已經被冷汗浸成了淺灰色。
“張工。休息會兒吧。您都熬了半個月了。”
助理小陳端著杯濃咖啡走過來，聲音裡透著心疼。
“不歇。”張子維頭也沒抬，手指在調焦旋鈕上微調。“差一點。就差那麼一點點。光源的轉化率還是達不到要求。”
他聲音嘶啞，像砂紙磨在玻璃上。
平台正中央。放著一個巴掌大小的銀色金屬腔體。這是光刻機最核心的部件——極紫外光源（EUV）發生器。
小陳歎了口氣。把咖啡放在旁邊的桌子上。
“那幫洋鬼子也是真夠絕的。瓦聖納協定一升級，連個廢舊的光源反射鏡都不讓咱們買。”小陳咬著牙，拳頭捏得死緊。
“買不來就自己造！”張子維猛地抬起頭，布滿血絲的眼珠子瞪得溜圓。
“矽基芯片的精度，全靠這束光。光出不來，老李他們就算把導軌磨成花，刻出來的芯片也是次品！”
他一把推開顯微鏡。抓起桌上亂成一團的數據圖紙。
指尖順著複雜的曲線快速滑動。
“激光轟擊錫液滴……等離子體激發。這原理書上都寫著。”
張子維喃喃自語，手指哆嗦著去拿筆。
“為什麼咱們的轉換率隻有百分之零點五？他們荷蘭人怎麼做到百分之二的？到底是哪個參數不對……”
他越說越急，呼吸變得短促。像是個破風箱在拚命抽氣。
“張工？您沒事吧？”小陳發現不對勁，趕緊湊過去。
張子維沒理他。他死死盯著圖紙，眼裡的光芒越來越亮，近乎癲狂。
“我知道了！是脈衝頻率！二氧化碳激光器的脈衝頻率和錫滴落下的速度沒對上！”
他一把推開小陳，跌跌撞撞地撲向控製台。
手裡的筆掉在地上，發出“啪”的一聲脆響。
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“重新調參！把脈衝頻率拉高百分之三十！快！”張子維嘶吼著，雙手在鍵盤上瘋狂敲擊。
實驗室裡幾個年輕的研究員趕緊跑過來配合。
指示燈瘋狂閃爍。
銀色金屬腔體裡發出一陣低沉的嗡鳴。那是高功率激光器開始蓄能的聲音。
張子維盯著屏幕上的能量讀數。額頭上的青筋一突一突地跳著。
“百分之零點八……百分之一點二……”
他嘴裡念念有詞。
眼看著數據要突破臨界值。
突然。
“砰”的一聲悶響。
金屬腔體裡冒出一股黑煙。刺鼻的焦糊味瞬間在實驗室裡彌漫開來。
控製台屏幕上的數據瞬間歸零。紅色的警報瘋狂閃爍。
“錫液滴飛濺……汙染了收集鏡。”小陳看著報廢的部件，聲音裡帶著絕望。
張子維愣在原地。
那雙原本閃著狂熱光芒的眼睛，瞬間失去了焦距。
半個月的沒日沒夜。幾百次的失敗。
他以為找到了突破口，結果換來的還是炸機。
一股難以名狀的憋屈和絕望，從胸腔深處翻湧上來。那是看著國家工業命脈被人死死卡住脖子的無力感。
“為什麼……為什麼就是不行……”
張子維喃喃著，身體晃了兩晃。
他突然彎下腰，雙手死死捂住胸口。臉上的血色褪得乾乾淨淨，嘴唇泛起一層可怕的紫青色。
“張工！”小陳驚呼出聲，伸手去扶。
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