【第507章 繼續升級】
------------------------------------------
楊明搖搖頭，調出一份材料數據表，
“我查過國內外的最新研究，有一種碳基複合材料，抗紫外線侵蝕能力是普通特種玻璃的五倍，而且導熱性更好，能解決鏡片發熱變形的問題。
至於光源，我打算把激發腔的內壁換成铌鈦合金，再優化能量控製係統，把脈衝頻率提升到3000Hz，同時將穩定性誤差控製在千分之一以內。”
“可這種碳基複合材料國內沒有量產，國外又對我們禁運啊！”
中科院的一位年輕研究員急聲道。
楊明早有準備，掏出手機撥通了軍工張總的電話：
“張總，麻煩你那邊協調一下，幫我們對接航天科工的材料實驗室，他們去年出過碳基複合材料的樣品報告。
我需要一噸的量產級材料，另外铌鈦合金的純度要達到99.999%，一周內能不能到位？”
電話那頭的張總毫不猶豫：
“楊總放心，光刻機項目是國家重點保障，我現在就去協調，就算加班加點，也保證按時交貨！”
掛了電話，楊明看向眾人：
“材料的問題解決了，接下來分兩步走，阮文帶技術團隊優化光源的激發腔結構，按照我給出的參數重新設計圖紙。
李院士，麻煩你們團隊負責物鏡的重新鍍膜和結構調整，采用分區濺射加離子束拋光的複合工藝，把鏡片的表麵粗糙度再降低0.05nm。”
“沒問題！”
兩人異口同聲回應，原本插不上手的中科院團隊終於有了明確方向，立刻投入到方案細化中。
接下來的一個多月時間，新總部的研發中心燈火通明。
楊明依舊全程坐鎮，透視眼成了最精準的“檢測儀器”。
阮文團隊剛把激發腔的配件做出來，楊明一眼就看出內壁的拋光精度不夠：
“這裡的粗糙度還有0.1nm的誤差，用激光拋光再處理一遍，不然會影響能量反射效率。”
技術人員按照要求調整後，再次檢測，粗糙度果然降到了0.05nm以下。
而李院士團隊在鍍膜時遇到了難題，分區濺射的粒子密度總是達不到千分之三的誤差要求。
楊明戴上無菌手套，親自調整濺射槍的角度和功率：
“左邊區域的功率下調5%，右邊上調3%，同步增加離子束的掃描頻率，這樣密度就能均勻了。”
按照他的指導操作後，檢測儀器上的數值瞬間達標。
李院士忍不住讚歎：
“楊總這雙眼睛，比我們最精密的乾涉儀還管用！”
一周後，航天科工的碳基複合材料和高純度铌鈦合金準時送達。
楊明帶領團隊連夜更換設備核心部件，重新組裝光源和物鏡。
當新的極紫外光源啟動，3000Hz的脈衝頻率穩定輸出，能量波動曲線幾乎成了一條直線！
而碳基複合材料製成的物鏡，在透視眼下，表麵光滑如鏡，沒有一絲微觀缺陷。
“啟動新一輪測試！”
楊明一聲令下，阮文立刻操作設備。
屏幕上，中端光刻機的參數曲線飛速跳動，能量損耗率從4.3%直接降至2.1%，套刻精度突破0.7nm，芯片製程赫然顯示為7nm！
“成功了！我們做出7nm芯片了！”
實驗室裡爆發出比之前更熱烈的歡呼，中科院的研究員們激動地擁抱在一起！
李院士更是紅了眼眶：
“多少年了，我們終於追上國際頂尖水平了！”
楊明卻依舊冷靜，他盯著屏幕上的穩定性測試數據：
“連續工作100小時再看結果，如果沒有問題，我們就啟動5nm製程的研發。”
就在這時，彭依然推門進來，臉上帶著喜色：
”。程製化優們我力助，術技分部的上計設片芯在們他享共意願還的有且而，機刻光mn7的們我定預想們他，向意作合了來發都戶客的少不們咱！息消好，公老“
：容笑抹一出露角嘴，書向意作合過接明楊
。應供的鏈業產內國障保先優須必但，以可作合，們他訴告“
”。報回份這得值力努的家大，權股的%1加追再隊團術技心核給，下一備準部事人讓，外另
。傲驕是滿中眼，影身的奮振而碌忙室驗實滿著看，頭點點然依彭
節章說小的新最現呈 ᴡᴛ.ᴘᴏᴏ
。晰清然已形雛構結的鏡物磨耐更、源光密精更的要需程製mn5，裡野視的眼視透，型模D3向投光目將次再則明楊
。段階的鍵關最入踏剛剛才，程征的團集揚名，境止無從路道的術技端尖往通
。至將節春看眼，水如光時
！的睹共目有家大是展發的揚名，間時段這
！機鈔印比堪，轉運備設台十幾
。產量始開經已機刻光端低的發研主自，外之片芯了除
。已而萬千兩才價定備設的揚名而，萬千三達高值價備設的口進外國從明楊前之
！色出的加更也性定穩和能產的備設，低更格價了除
。圍氛慶喜著溢洋處處，籠燈紅了滿掛外樓大部總團集揚名，近越來越步腳的節春
。天朝火熱舊依裡間車產生和心中發研但
。核考障故無時小001過通利順試測性定穩的機刻光mn01
。業企片芯部頭家幾內國給付交備準，裝組緊加正備設台十二批首，式模倒班三啟開經已線產生
：意笑住不藏上臉，來走匆匆表報售銷份一著拿就銘陸，會度調產生完持主剛明楊
！億多十四了收就金定是光，隊排在業企家多十三有還，單訂的機刻光mn01台八十五到收經已們我，月個半短短！據數這看看你，子明“
百兩破突來起加單訂的內國，說用不更機刻光端低
