我不相信EUV會夭折。因為我們在座的每一個人，都不答應。”
“三年前，我們開始做EUV時，所有人都說不可能。但我們做出了樣機，做出了量產機型。現在，有人說沒有國外部件，EUV就是廢鐵。那我們就證明給他們看，沒有國外部件，我們照樣能做EUV！”
掌聲響起。
韓風繼續說：“今天請大家來，就是想組建一個聯盟。我們一起攻關，把EUV的每一個關鍵部件都國產化。這條路很難，可能需要三年、五年甚至更長時間。但隻要我們走下去，就一定能走通。”
“我不是要大家做慈善。凡是參與攻關的企業，風華半導體都會下訂單，而且是長期訂單。EUV成功了，大家都是功臣，都能分享紅利。”
“現在，願意加入聯盟的，請舉手。”
短暫的沉默後，一家光學企業的老板第一個舉手：“我加入！不就是高精度鏡片嗎？我們華光光學乾了四十年，不信做不出來！”
接著，一家真空設備企業的總工舉手：“我們加入！真空技術我們研究了三十年，10^-8帕的真空度，拚了命也要搞出來！”
一家激光器企業的技術總監舉手：“我們加入！二氧化碳激光器我們有基礎，極紫外光源我們也可以嘗試！”
一個接一個，所有企業都舉手了。
韓風看著這一幕，眼眶發熱。這就是中國企業家的精神——不怕難，不服輸。
“謝謝大家！”韓風深深鞠躬，“那我們今天就成立‘國產EUV供應鏈聯盟’。風華半導體牽頭，大家分工協作。我們定期開會，分享進展，解決問題。目標隻有一個——做出完全自主的EUV！”
會議結束後，韓風立即組織團隊，與聯盟企業對接。每個關鍵部件都成立了聯合攻關小組，製定了詳細的時間表和路線圖。
工作全麵展開。華光光學的實驗室裡，工程師們日夜奮戰，改進拋光工藝，提高鏡片精度。真空設備企業的車間裡，技術人員反複試驗，提升真空泵的性能。激光器企業的研發中心，科學家們探索新的光源技術。
雖然進展緩慢，但每一步都是堅實的。
與此同時，韓風也在尋找其他的突破口。他聯係了歐洲的一些中小企業，這些企業不受美國禁令限製，但技術實力很強。
一家德國精密機械企業的老板對韓風說：“韓總，我們很願意和你們合作。但ASML給了我們很大壓力，如果我們賣設備給你們，他們就要取消訂單。”
“理解。”韓風說，“那有沒有可能，以技術谘詢的方式合作？你們派工程師來指導，我們付谘詢費。”
老板想了想：“這個可以。但隻能秘密進行，不能公開。”
“沒問題！”
通過這種方式，韓風找到了一些“外援”。雖然不能直接購買設備，但能得到技術指導，對國產化攻關有很大幫助。
一個月後，國產化攻關取得了第一個突破。華光光學成功製造出了表麵粗糙度達到0.5納米的鏡片，雖然離EUV要求的0.1納米還有差距，但已經是巨大的進步。
“韓總，給我們三個月，一定能做到0.1納米！”華光光學的總工信心滿滿。
“好！需要什麼儘管說！”
真空技術也有了進展。聯合攻關小組改進了分子泵的設計，真空度達到了10^-7帕，離目標隻差一個數量級。
激光器方麵，二氧化碳激光器的功率和穩定性都提高了，極紫外光源的研究也開始了前期工作。
一切都在向好的方向發展。
但方婷那邊沒有停止行動。她利用代理ASML的身份，在國內芯片製造企業間活動，遊說他們不要使用風華半導體的設備。
“風華半導體的設備用的是國產部件，性能不穩定，會影響你們的良率。”她對中芯國際的王總說，“ASML的設備雖然貴，但可靠。芯片製造，reliabilityiseverything（可靠性就是一切）。”
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王總有些動搖：“但我們已經簽了試用協議......”
“試用可以取消。”方婷說，“違約金我來付。王總，你是生意人，應該知道怎麼選擇。”
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