陳啟明房間裡的氣氛,詭異得像是科幻電影的開場。
手機緊貼著他的耳朵,擴音器裡傳出周華國院士幾乎要撕裂聲帶的咆哮;與此同時,V信的好友邀請通過後,視頻通話請求像瘋了一樣彈出來,頭像分別是陳景明、餘德海、孟長功,以及嚴樹隆和陳海峰的“二組”。
這畫麵,堪稱龍國學術界春晚分會場。
陳啟明深吸一口氣,先對電話那頭的周華國說:“周主任,冷靜。大過年的,別把嗓子喊壞了。”
“我冷靜不了!”周華國在那頭來回踱步,背景音裡滿是伺服電機細微的嗡鳴和冷卻係統的風聲,顯然他人就在那台DUV樣機旁邊。“我們冒著風險接通了電源,對光源係統進行了初步測試。數據……數據是假的吧?!193納米ArF激光,功率輸出穩定在60千瓦以上,能量抖動率低於百分之零點一!而且……最離譜的是,光斑裡幾乎沒有相乾噪聲(Speckle)!這違反了光學基本原理!你是怎麼在提升功率的同時,還把相乾性這個‘副作用’給抹掉的?!”
這是一個真正切中要害的問題。傳統準分子激光器,功率越高,相乾性越強,導致的光刻膠曝光不均問題就越嚴重,像蔡司和ASML也是花了數十年才勉強通過一係列複雜的光學元件來削弱這個問題。
陳啟明走到書桌前坐下,語氣輕鬆得像是在討論一道初中物理題。
“周主任,您陷入了一個思維定式。為什麼一定要用‘一台’高功率激光器呢?”
電話那頭沉默了。
“傳統方案,是‘大力出奇跡’,用一台主激光器,然後拚命在光路上做‘減法’,削弱相乾性。”陳啟明用手指輕輕敲著桌麵,聲音清晰而富有穿透力,“我的方案,是做‘加法’。”
“什麼意思?”周華國的呼吸都停滯了。
“光源的核心,不是一台激光器,而是一個由1024個微型半導體激光器組成的相控陣列。每一個單元輸出的功率不高,但通過一個我稱之為‘隨機相位擾動算法’的程序進行超高頻獨立調製,它們發出的光束在最終彙聚點上,能量可以完美疊加,但相位卻實現了統計學意義上的完全隨機和均勻。”
“所以,您看到的光斑,本質上是1024束低功率、低相乾性的光,在飛秒級的時間尺度內,以一種‘暴力塗抹’的方式疊加而成的。它從源頭上就不是一束高相乾性的光。因此,根本不需要複雜的退相乾係統,也就沒有了能量損失和不穩定性。”
電話那頭,死寂了整整十秒。
隨後,是周華國倒吸一口涼氣的聲音,像是要把整個無塵車間的空氣都吸乾。
“相控陣……隨機相位……用算法來控製光本身……”他喃喃自語,世界觀受到了劇烈的衝擊,“我們還在研究怎麼打磨鏡片,你……你直接重新定義了什麼叫做‘光’……”
“差不多是這個意思。”陳啟明笑了笑,“更具體的算法和硬件架構,圖紙裡都有。以華清的工程能力,理解並複現它隻是時間問題。您先過年,開學了我們再細聊。”
掛斷電話,他看了一眼屏幕上那一排焦急的視頻請求,無奈地歎了口氣,乾脆發起了一個多人視頻會議。
下一秒,五張國寶級學者的臉,同時出現在屏幕上,擠成了一個九宮格。
背景各不相同,有書房、有客廳、甚至有燈火通明的實驗室,但他們臉上的表情卻出奇地一致,震撼、狂熱,以及三分見鬼了似的難以置信。
“陳啟明同學!”Peking大學的陳景明院士第一個搶過話頭,他指著屏幕,花白的頭發有些淩亂,“你的那個引理!那個‘正則化算子序列’!它就像一座憑空出現的神之橋,直接跨越了我們所有人麵前的深淵!告訴我,你是怎麼想到這個構造的?這不合邏輯!”
“陳教授,”陳啟明耐心地解釋道,“邏輯本身沒有錯,或許隻是我們看待問題的維度太低了。……”
陳景明院士愣住了,渾濁的眼眸中瞬間爆發出駭人的精光。
……
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