接觸式曝光？
光學所老所長的話，讓會議室裡的氣氛，再次變得微妙起來。
在場的專家們，都明白他話裡的意思。
所謂的接觸式曝光，是光刻技術最原始，也是最簡單的形態。
它的優點是，結構簡單，對光學係統的要求極低，甚至不需要投影物鏡，隻需要一個平行的光源，就能工作。
非常適合在當前一窮二白的情況下，快速搭建一個實驗平台，用來驗證光刻膠、顯影、刻蝕等一係列化學工藝。
這聽起來，是一個非常務實，非常符合當前國情的選擇。
立刻，就有不少專家表示了讚同。
“我同意老張的看法！我們不能好高騖遠，一口就想吃成個胖子。飯要一口一口吃，路要一步一步走。”
“沒錯，先用接觸式曝光，把工藝流程跑通，把配套的材料搞出來。等這些基礎打好了，再回頭來攻關投影式光刻機，不是更穩妥嗎？”
“先解決‘有’和‘沒有’的問題，再解決‘好’和‘不好’的問題。我支持這個方案！”
一時間，主張“先易後難，穩紮穩打”的聲音，占據了上風。
所有人的目光，都看向了林振，等待著他這個總設計師的最終決斷。
林振沒立刻表態。
他走到黑板前，看著自己剛剛畫下的任務分配表，陷入了沉思。
其實，專家們說的有道理。
接觸式曝光，確實是當前最現實的選擇。
如果他一意孤行，非要一步到位，直接上最先進的投影式光刻機，那很可能會因為目標過高，導致整個項目在起步階段，就因為無數個“不具備”而停滯不前，最終拖垮所有人的信心。
作為一個穿越者，他最大的優勢是，他很清楚的知道，技術發展的客觀規律和每一條技術路線的優點與弊端。
他不能盲目地把後世的“標準答案”，生搬硬套到這個一窮二白的年代。
他必須尊重科學，尊重現實。
想到這裡，林振心中已經有了答案。
他麵對著所有專家，緩緩開口。
“我同意，用接觸式曝光，作為我們801工程的第一步。”
此話一出，支持該方案的專家們，都鬆了一口氣。
他們生怕林振這個年輕的天才，會因為過於自信，而聽不進他們這些老家夥的建議。
隻是，林振接下來的話，卻讓所有人，都再次把心提到了嗓子眼。
“可是，”林振的音調斬釘截鐵，“我隻把它，當作一個驗證工藝的平台，而不是我們最終要交付的產品。”
“為什麼？”
光學所的老所長不解的問。
“接觸式曝光，雖然簡單，可它有一個致命的缺陷。”
林振解釋道。
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“那就是，在曝光過程中，掩膜版會和矽片上的光刻膠，直接接觸。”
“這種接觸，會帶來三個無法解決的問題。”
“一，劃傷。矽片和掩膜版上，哪怕有最微小的灰塵顆粒，都會在接觸和壓力的作用下，像砂紙一樣，劃傷彼此。這會導致掩膜版和矽片的報廢率，高得驚人。”
“二，汙染。光刻膠裡的化學成分，會汙染掩膜版。掩膜版上的灰塵，會轉移到矽片上。這種交叉汙染，在微米級的電路製造中，是致命的。”
“三，壽命。每一次接觸，都會對掩膜版造成不可逆的磨損。一塊昂貴的掩膜版，可能用不了幾次，就報廢了。這在未來的大規模量產中，是絕對無法接受的成本。”
林振的分析，鞭辟入裡，一針見血。
把接觸式曝光的弊端，說得清清楚楚，明明白白。
剛才還支持這個方案的專家們，都沉默了。
他們隻看到了接觸式曝光的簡單，卻沒看到它背後隱藏的陷阱。
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