“這……這怎麼可能？”
負責操作的研究員，看著顯微鏡下的景象，整個人都傻了。
為了這次實驗，他們已經做了最充分的準備。
整個房間，在實驗前，用消毒水和酒精，擦洗了三遍。
所有的實驗人員，都換上了白大褂，戴上了口罩和帽子。
在他們看來，這已經是他們能做到的，最乾淨的環境了。
可結果，依舊如此。
消息傳到801項目組的每日例會上，所有人一下子沒了聲音。
“我去看過現場了。”
化工所的負責人，一個五十多歲的老教授，一臉的無奈。
“我們用高倍顯微鏡觀察了一下，發現落在矽片上的灰塵，尺寸從幾微米到幾十微米不等。”
他頓了頓，說出了一個更令人絕望的數據。
“而我們第一代光刻機，要加工的線寬，是10微米。”
換言之，空氣中隨處飄蕩的一粒微小灰塵，它的尺寸，就可能比他們要製造的整個電路，還要大。
“這些灰塵，落在矽片上，就像在高速公路上，扔了一塊大石頭。”
林振替他做了總結。
“如果是在光刻膠下麵，它會導致光刻膠凸起，曝光失真，形成針孔。”
“如果是在光刻膠上麵，它會擋住光線，導致下麵的光刻膠無法曝光，形成斷線。”
“無論是哪一種，結果都是災難性的。”
“我們甚至還沒開始跑，就已經被這些看不見的攔路虎，給絆倒了。”
一個年輕的研究員，沮喪的說道。
“問題出在哪裡？”
林振問道。
“問題出在……空氣。”
老教授苦笑著回答。
“我們現在才明白，我們平時呼吸的，看似潔淨的空氣，對於微米級的半導體製造來說，到底有多臟。”
“我們缺少一套，能夠有效過濾空氣中微小顆粒，並且維持室內環境高度潔淨的係統。”
“也就是林總師您之前說的，潔淨室。”
所有人的目光，再次聚焦到林振身上。
又是林振。
似乎所有他們遇到的，想不通，解決不了的難題，林振早就已經預見到，並且給出了答案。
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“我這裡，有一套潔淨室的設計方案。”
林振不想賣關子，他讓耿欣榮把早就準備好的圖紙，分發給眾人。
“這套方案的核心，是三個東西：分區、正壓、和過濾。”
林振指著圖紙，開始講解。
“首先，是分區。”
“我們要把整個實驗區域，按照潔淨度的不同，劃分為不同的等級。比如，百級區，千級區，萬級區。”
“越是核心的操作，就要在越高等級的潔淨區裡進行。人員和物料，必須按照規定的流線，單向流動，不能交叉，不能逆行。”
“其次，是正壓。”
“我們要讓潔淨室內的氣壓，始終高於室外的氣壓。這樣一來，空氣就隻會從室內往室外流，室外那些‘臟’空氣，就流不進來了。”
“最後，也是最關鍵的，是過濾。”
林振在圖紙上，畫出了一個巨大的風機和複雜的管道係統。
“我們要用強大的風機，把室外的空氣，抽進來。然後，讓這些空氣，通過一個由高效空氣過濾器組成的過濾牆，把裡麵99.99%的灰塵，都過濾掉。”
“過濾後的潔淨空氣，從天花板上，均勻地吹下來，形成一個垂直的單向氣流，把室內產生的灰塵，都壓到地麵上，然後從地麵的回風口，抽走。”
“人員進出，必須經過一個叫做風淋室的房間，用高速的潔淨氣流，吹掉身上攜帶的灰塵。”
“地麵，要鋪設帶有粘性的地板，把鞋底的灰塵粘住。”
“所有的人，都必須穿上特製的，不產塵的潔淨服，戴上頭套、口罩、手套，把自己從頭到腳，包得嚴嚴實實。”
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