烘箱外麵罩著一層斑駁的綠漆,側邊還用紅油漆噴著某某機械廠製造的字樣。這台老舊的設備嗡嗡響著,發出低沉的噪音。
半個鐘頭的設定時間,在這間潔淨室裡,熬得每個人都滿頭大汗。
化工所的老教授站在烘箱跟前,眼珠子直愣愣的盯著上麵慢吞吞走字的機械計時器。
他兩隻手緊緊攥在一起,手心裡全都是汗水。
旁邊的幾個年輕研究員更是不敢喘粗氣,連咳嗽都憋在嗓子眼裡。
叮的一聲脆響,計時器停了。
大夥兒不約而同鬆了一口氣。
林振身形極高,在一群人裡很是打眼。他麵容玉白,在白熾燈的照耀下透著溫和清雋的氣質。他從桌上拿起一副厚實的翻毛皮手套戴好,伸進滾燙的烘箱,把那片烤得發燙的矽片穩穩夾了出來,放在專用的鐵架子上晾著。
“這就完事了?”老教授急吼吼的問。
林振脫下手套,“表麵的水氣是烤乾了。不過空氣裡到處都是水蒸氣,放久了它還會重新粘回去。接下來的動作必須快。”
他偏過頭,看向邊上早就端著玻璃滴管等候的年輕研究員。
“勻膠。別耽擱。”
“哎,明白。”
年輕研究員捏扁滴管吸滿紫色光刻膠,手腕懸在矽片正上方。他屏住呼吸,手指微微施力,擠出兩三滴。紫色膠液垂直墜在矽片中心,聚成一小團,未向四周流散。
研究員把矽片卡在勻膠機的底座上,按下了啟動鍵。
小馬達呼啦啦的轉起來,底盤飛速打轉。離心力立馬把紫色的藥水往四周趕,在矽片表麵平平整整的鋪開了一層極薄的紫色膠膜。
轉盤停穩後,大家全都湊著腦袋看。
“成了。”老教授笑容滿麵,“這膠老老實實趴在上麵,一丁點浮油的影子都沒了,剛才那水膜就是搗亂的根源。”
這還隻是走完了第一步。光能粘住不頂事,還得看能不能刻出圖來。
林振領著大夥兒走到角落裡接觸式曝光機跟前。
說它是曝光機,其實寒酸得很。
這是801項目組用一個廢舊機床的底座,加上從別的研究所化緣要來的高壓汞燈,臨時拚湊出來的土玩意兒。
外表看著破爛,可這裡頭寄托著大夥兒的全部指望。
林振親自上手。他手心肌膚細膩,在手指側邊有著常年乾車工留下的薄繭。他穩當當地拿起那塊畫著基礎條紋圖案的玻璃掩膜版,跟矽片對齊,嚴絲合縫的壓在了一起。
“曝光三十秒,計時。”
他按下了電閘,高壓汞燈亮起刺眼的強光,紫外線透過玻璃板,直直打在那層紫色的光刻膠上。
屋裡沒人說話,全都在心裡默默查著數。
三十秒一到,林振立刻關了燈。他把矽片取下來,遞給邊上的另一個小夥子。
“下藥水,顯影。”
小夥子端著一個白瓷盆,裡頭裝了調配好的化學顯影液。他兩手發抖,吸了好幾口氣,才夾著矽片緩緩浸沒到藥水裡,然後按著規程慢慢晃蕩。
盆裡的藥水有了變化。
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被紫外線照過的那部分膠膜開始發軟,融化在藥水裡,露出了底下原本銀灰色的矽片底子。而那些被掩膜版上的黑線擋住,沒照著光的地方,膠膜一點沒動,結結實實的留在了原處。
洗完之後,小夥子把矽片撈出來,拿去離子水衝乾淨,最後用氮氣槍吹乾。
他舉著那片巴掌大的矽片轉過身。
借著屋頂的燈光,所有人都清清楚楚看見,原本光禿禿的矽片上,多出了一排排邊緣銳利、整齊劃一的紫色線條。就跟微縮了好幾百倍的火車軌道一樣規整。
短暫的死寂過後,屋裡爆發出震耳欲聾的叫喊聲。
“成了!真叫咱們搗鼓出來了!”
“老天爺啊,咱們自己做出了光刻線條!”
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