的平台，並且在兩個平台之間，畫了幾個奇怪的裝置。
“這是第二層，主動減震。”
“我們把光刻機的核心光學部件，放在這個小平台上。當第一層被動隔振係統無法完全過濾掉的震動傳上來時，我們就用這幾個小東西，主動產生一個方向相反，大小相等的力，把它抵消掉。”
林振的粉筆，在黑板上畫出了一個複雜的結構圖。
“這個，叫音圈電機。這個，叫壓電陶瓷。它們兩個，就是我們實現主動補償的核心。”
整個會議室，鴉雀無聲。
所有人都像在聽天書一樣，看著黑板上那個科幻片裡才會出現的玩意兒。
雙層隔振？
被動加主動？
空氣彈簧？
音圈電機？
這些名詞，他們連聽都沒聽說過。
“林振同誌，”一個老專家顫巍巍的舉起手，“你說的這個……主動補償，它怎麼知道該往哪個方向，出多大的力呢？”
“問得好。”
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