黎明光學研究技術中心。
方光圻教授麵對最新的步進式光刻機項目的困境，眉頭完全皺在了一起。
「屠教授，我們的光學物鏡係統現在還是不能達標，問題究竟能不能依靠我們自己解決？」方光圻教授知道負責光學部份的屠教授團隊已經儘力，但是拿出來東西精度仍然沒法達到新的2微米級別光刻機L-100樣機的需要，這台以GCA的步進式光刻機DSW 4800為藍本的樣機。
任重已經給大家帶來了相當充分的設計資料，對於原理及原理的論證早就完成了，甚至也完成了3微米樣機L50的開發，成功投入到現實的生產中，把8080晶片的生產良品率提升了一個新的高度，直接把晶片成本打下了一個數量級，從幾百美刀級別降低到了幾十美刀。
而且用L-50光刻機生產出了更加複雜的8086和8088晶片。
但是在進一步提升的過程中，這套係統卻很難穩定達到2微米的加工級別。
而按照晶片設計研究中心那邊的設計，下一代晶片80286需要採用2微米以下的新工藝設備才能生產，按照設計工程師的初步估算，新型CPU晶片的電晶體數量已經從8086的2.9萬個膨脹到了空前驚人的13萬個以上電晶體。
這就逼迫光刻機研究不得不進一步挖潛。
「方教授，從我們目前的光學技術能力來說，現在要進一步提升難度已經非常大了，雖然我們不想承認，但是事實上現在的光學物鏡已經是我們技術的極限，如果要進一步提升，恐怕隻有用時間來慢慢打磨提高了，在這方麵相比蔡司這些頂級光學公司來說我們的起步基礎實在太差了。」屠教授是從三德子歸國的人員，曾經在三德子的蔡司工作過。
正因為廣攬天下人才回來，方光圻領導的光學研究所才會快速擴張發展成為黎明光學研究技術中心這樣一個數千人的大研究機構，並且從單純光學設備研究開始承擔起來幾代光刻機的研究任務。
從最初的接觸式光刻機開始，到發射式光刻機的研究，方光圻這一生才走了一半多一點，他們就已經走到了這個星球光學設備研究的巔峰。
然而這一切都是靠著任重直接開掛，將設備最為核心的設計問題拿出來後，他們按照這些設計努力去實現。
現在走到了極致狀態後，曾經具有的一些短板就體現出來了。
雖然說光刻機光學鏡頭的製造原理並不複雜，但要做出超高精密度的光刻鏡頭，在技術和工藝兩方麵均有非常大的難度。在技術方麵，大數值孔徑（NA）的技術難度非常高，需要基於雙高斯結構設計組合出20枚左右的鏡片，還要做到分攤球差、平衡場曲、抵消畸變。此外，為保障晶圓圖案的質量，光刻機中每一塊透鏡的位置誤差都必須小於1nm，同時還要能儘量消除光損失產生的熱量。
在工藝方麵，光刻機所要求的鏡麵光潔度非常高，需要採用精度最高的打磨機和最細的鏡頭磨料，這些除了在材料方麵要求外，還要有技術極其高超的老師傅把關才行，因為先進光刻機鏡頭全部由手工打磨而成，要求高純度透光以及高拋光。
而在這方麵，黎明光學研究技術中心最強的技術師傅就是屠教授，但是在三德子的蔡司，屠教授當初隻能算一個普通的加工技術人員，距離公司頂級大師傅還有很長一段距離，何況有些關鍵技術這些頂尖技術人員並不會傳授。
「屠教授，我們要想快速達到設計指標，按照你的想法，我們是否需要同蔡司這樣的光學巨頭合作，讓他們按照我們的要求設計製作這套光學物鏡係統？」方光圻教授沉思一會兒後問道。
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屠教授有些禿然的苦笑道，「目前恐怕隻能如此了。」
方光圻點了點頭，下定了決心。
任重對於方光圻的國際合作請求毫不遲疑進行了批準。
在一個晴朗的上午，位於巴登-符騰堡州的奧柏科享市迎來了一場重要的商業接待活動。
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